集微网消息 光刻机是半导体制造业中最核心的设备,光刻环节能实现芯片设计图从掩模到硅片上的转移。而光刻机工件台是光刻机的核心子系统之一,约占光刻机成本的10%到20%。长期以来,全球光刻机被 ASML、尼康和佳能完全垄断,作为国内首家光刻机双工件台,华卓精科目前的企业发展情况如何?

7月22日15点30分,在“集微直播间·招股书解密”栏目第一期中,集微网分析师殷君锋重点从其公司概述、财务分析、行业现状、业务分析、核心技术、募资计划等多角度,解读国内首家光刻机双工件台供应商华卓精科。同时,我们还邀请到开源证券研究所副所长、电子行业首席分析师刘翔和厦门半导体投资集团总经理助理刘耕一起进行互动交流。截至7月22日16:10分,通过爱集微APP、微博、百度视频、西瓜视频、B站等直播平台观看直播并互动的观众超10000人次

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华卓精科长期专注于纳米级超精密测控技术,是国内领先的集成电路制造装备及其核心部件、精密/超精密运动系统及相关技术供应商。公司以光刻机双工件台这一超精密机械领域的尖端产品为核心,并以该产品的超精密测控技术为基础,开发了晶圆级键合设备、激光退火设备等整机产品,以及精密运动系统、隔振器和静电卡盘等部件衍生产品,应用领域覆盖集成电路制造、超精密制造、光学、医疗、3C制造等行业。

2017-2019年,华卓精科经营保持了良好的发展态势,公司资产总额、营业收入、净利润、经营活动产生的现金流量净额均保持了较高的增长率,年复合增长率分别为94.87%、49.53%、29.05%、81.13%。

数据来源:华卓精科招股说明书

光刻机双工件台独供上海微电子

近几年,国内半导体设备行业正呈现高速发展态势。根据SEMI统计显示,2018年全球半导体设备行业市场规模达645.30亿美元,同比增长13.97%,2009年至2018年的复合增长率为 16.82%。

其中,2018年中国半导体设备行业市场规模达131.10亿美元,同比增长59.30%。2009年至2018年,中国半导体设备行业市场规模复合增长率为34.02%,高于全球市场增长率一倍以上。

当前,光刻机主要被荷兰ASML、日本尼康、日本佳能等外国厂商长期垄断,其中ASML就独占70%以上市场份额,其最先进的光刻机工艺制程为7nm。

虽然我国光刻机研发起步较,但在持续攻坚的努力下,国产光刻机龙头企业上海微电子在低端光刻机市场占据了一定的市场地位,目前该公司最先进的光刻机工艺制程为90nm,预计2021-2022年交付第一台28nm工艺制程的国产沉浸式光刻机。

需要指出的是,要实现光刻机的国产替代并不是上海微电子一家企业能够单独完成的,需要光刻产业链企业的相互配合。光刻产业链可拆分为两个部分,一是光刻机核心组件,包括光源、镜头、双工作台、浸没系统等关键子系统,二是光刻配套设施,包括光刻胶、光掩模版、涂胶显影设备等

其中,华卓精科主要为上海微电子提供光刻机双工件台,其主要功能是承载晶圆按照指定的运动轨迹做高速超精密运动并完成一系列曝光所需动作,包括上下片、对准、晶圆面型测量和曝光等。

不过,从华卓精科招股说明书来看,公司光刻机双工件台2017年和2018年营业收入分别是1521.37万元、795万元,占整体营业收入的比重较小,2019年却没有实现任何营收。这也意味着,2019年华卓精科没有顺利量产出货光刻机双工件台。

数据来源:华卓精科招股说明书

对此,华卓精科表述,主要是目前光刻机双工件台仍处于小量定制生产阶段,尚未实现规模化量产,所以对公司收入贡献比较小。

标的稀缺但工艺制程较为落后

虽然华卓精科是国内首家光刻机双工件台厂商,但公司的主要营收来源却是其他业务。集微网了解到,对其收入贡献最大的是超精密测控装备部件里的精密运动系统。招股说明书显示,2017年、2018年和2019年,其精密运动系统分别实现营业收入2315.78万元、6526.26万元和7997.78万元,占总体营业收入的比重分别是42.80%、76.14%和66.12%。

从业务范围来看,华卓精科产品丰富,可覆盖业务领域较广。对此,厦门半导体投资集团总经理助理刘耕表示,多维度来看,华卓精科横向拓展性比较强,未来发展前景非常可观。比如其激光退火设备,可以大量的应用在功率芯片如IGBT等新的工艺,未来市场空间极大

在核心技术方面,华卓精科每年在研发费用方面的投入金额较大,2017年、2018年和2019年,其研发投入占营业收入比例分别为30.75%、96.33%和117.24%,远超行业平均(30%左右)水平。

在大量研发投入的基础上,华卓精科目前拥有175项专利,其中发明专利139项、实用新型29项、外观设计2项、美国专利5项。

据披露,研发较高的原因主要系作为技术领先的科技创新型公司,所需研发投入较大,而其目前处于成长期,营业收入规模相对较小;同时,华卓精科还承担3项02专项研发项目,投入金额较高,导致其研发投入占营业收入的比例高于同行业公司。

华卓精科02专项

值得提及的是,因其所处行业的特殊性,为持续提升其核心竞争力,此次IPO华卓精科拟募资10.35亿元用于产品生产、技术研发及补充流动资金等方面。

对于未来,华卓精科表示,公司将通过并购重组方式整合产业链,以此增强公司核心竞争力;利用资本市场多元化的融资方式促进公司发展,加强公司治理,形成规范化的管理模式。

总结来看,目前,国内光刻机龙头上海微电子已经量产交付了90nm工艺制程的光刻机,正在极力突破40nm、28nm等制程供应,而这也是华卓精科正在攻克的方向。“华卓精科的优势主要体现在三大方面,一是优质的客户,二是持续投入及其技术积累,三是02专项被国家认可。”刘耕强调,华卓精科在国内肯定是首屈一指,但相较于国外企业,其工艺制程还比较落后,未来还有一段路要走

开源证券研究所副所长、电子行业首席分析师刘翔也表示,如果用三个词来形容华卓精科,那就是高技术、稀缺性及确定性,也正因为其所处行业技术构造复杂,对技术及资金要求极高,企业要及时关注技术泄密风险、行业波动风险和国际宏观环境恶化所带来的风险

(校对/Lee)

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